PRODUCT
회사 전체가 목적 의식을 가진 "의지"와 "열기 넘치는 도전적인 기술 집단" 이어야합니다.
  • 자외선 조도계 / 광량계 UV-M03A
  • 자외선 조도계 UV-M10-P/S Series
  • 자외선 조도계 UV-351 Series
UV METER Series
자외선 램프의 메이커가 자외선 조도량 /노광량 등을 측정하기위해 준비한 측정기 시리즈
  • UV-M03A
    자외선 램프의 UV조사량
    관리에 적합한 계측기
  • UV-M10-P/S
    UV 조사장치 등에서 노광량을
    제어하는 측정기
  • UV-351
    UV노광 장치와 UV컨베이어에
    모두 대응하는 측정기
UV METER Series
UV-M03A
자외선 램프의 메이커가 자외선 조도량 /노광량 등을 측정하기 위해 준비한 측정기 시리즈
소형·경량, 핸디 타입 계측기입니다. 자외선 램프를 탑재한 장치를 제조 현장에서 관리하는
목적에 적합합니다. 자외선 램프의 UV조사량(조도·광량)관리에 사용하세요.
특징
- 노광 장치의 조도와 광량 관리를 손쉽게 할 수 있는 소형·경량의 핸디 타입입니다.
- 자외선 조도와 광량을 간편하게 측정할 수 있습니다.
- 수광기는 사용하고(사용 예정)있는 광원과 레지스트 등의 감도에 맞추어 UV-25,35,42용을 선택하시면
   됩니다. 다만 전자 회로(프린트)기판 제조 공정에서 사용하는 경우에는 UV-SN25, UV-SN35, UV-SN42 를
   반도체 및 액정용 기판 제조 공정에서 사용하는 경우에는 UV-SD25, UV-SD35, UV-SD42를 선택해주시면
   됩니다.
- 측정 데이터는 RS-232C 통신 출력을 통해서 전송할 수 있습니다.
- 아날로그 출력도 갖추고 있습니다.
SD형과 SN형에 대해서
SN형은 오래 전부터 당사의 노광장치나 조사장치를 사용하시는 고객들이 많이 채용되고 있는 제품으로 프로세스 관리의 계속성을 확보하고 있습니다. SD형은 반도체와 액정용 기판의 제조 프로세스 현장에서 이전에 타사의 조도계를 사용하고 있는 고객이 자신의 계측기와의 데이터 호환성을 중요시 하는 경우나 (당사의 노광 장치에서도 투영형 노광장치나 액정기판용 주변노광 장치에는 SD형이 채용되었습니다.) 새롭게 조도계를 사용하려는 고객에게 권장하고 있습니다.
SD형과 SN형의 지시치에 대해서
SN형은 예전부터 프로세스데이터의 호환성을 확보하기위해 SD형의 지시값 (당사 계측 그룹에서 교정용 방사선원으로 사용하 는 고압 UV램프의 365nm의 휘선을 동일한 측정 조건에서 측정했을 때 나타나는 조도값 : mW/cm2 표시)에 대해서 39% 높게 표시하도록 조정되고 있습니다.
사양
수광기 (교환식) V-SD35 (UV-SN35) 측정 광량 범위 0.001~19999 mJ/cm2
정파장 영역 310~385 nm 맞춤정밀도 0.001~19999 mJ/cm2
측정 조도 범위 당사 UV표준기에 대해서±1.5% 이내 반복정밀도 ±1.5% 이내
UV계측기 수광기 분광 감도 특성
UV METER Series
UV-M10-P/S Series
자외선 램프의 메이커가 자외선 조도량 /노광량 등을 측정하기 위해 준비한 측정기 시리즈
자외선을 이용하는 UV 조사장치의 광량을 관리하기 위한 측정기입니다.
제어신호의 접점출력을 갖추고 있기 때문에, UV 조사장치 등에서 노광량을 제어하는 목적에
사용할 수 있습니다.
특징
- 자외선 노광용 제어신호를 출력할 수 자외선 광량계 입니다.
- 10채널의 광량설정, 광량측정, 조도측정, 타이머설정, 시간계측 등의 멀티기능을 갖추고 있습니다.
- 광량 측정 중에 조도표시와 시간표시로 변환이 가능합니다.
- 기기내장형 UV-M10-P 와 탁상형 UV-M10-S를 선택할 수 있습니다.
- 수광기는 사용하고 있는(사용예정)광원과 레지스트 등의 감도에 맞추어 UV-25, 35, 42용을 선택합니다.

다만 전자 회로(프린트)기판 제조공정에서 사용하는 경우에는 UV-SN25, UV-SN35, UV-SN42를 반도체
및 액정용 기판 제조공정에서 사용하는 경우에는 UV-SD25, UV-SD35, UV-SD42를 권장합니다.
SD형과 SN형에 대해서
SN형은 오래 전부터 당사의 노광장치나 조사장치를 사용하시는 고객들이 많이 채용되고 있는 제품으로 프로세스 관리의 계속성을 확보하고 있습니다. SD형은 반도체와 액정용 기판의 제조 프로세스 현장에서 이전에 타사의 조도계를 사용하고 있는 고객이 자신의 계측기와의 데이터 호환성을 중요시하는 경우 (당사의 노광 장치에서도 투영형 노광장치나 액정기판용 주변노광 장치에는 SD형이 채용되었습니다.) 및 새롭게 조도계 등을 사용하려는 고객에게 권장하고 있습니다.
SD형과 SN형의 지시치에 대해서
SN형은 예전부터 프로세스데이터의 호환성을 확보하기위해 SD형의 지시값 (당사 계측 그룹에서 교정용 방사선원으로 사용하는 고압 UV램프의 365nm의 휘선을 동일한 측정 조건에서 측정했을 때 나타나는 조도값 : mW/cm2 표시)에 대해서 39% 높게 표시하도록 조정되어 있습니다.
타사 조도계와의 데이터 호환성에 대해서
가시광용 조도계(가정•사무실•점포•미술관 등의 밝기를 LUX 단위로 재는 조도계)와 달리 자외선용 조도계 모두에게 적용되는 규격은 아직 정해져 있지 않습니다. (극히 일부의 한정된 용도로 JIS화 작업이 이뤄지고 있습니다).
각사의 상대 분광 감도는 365nm의 휘선을 주체로한 광원에 따른 조도를 측정할 목적으로 만들어져 있음에도 측정의 피크 파장 (상대 분광 감도 특성이 1에서 제시된 파장)을 비롯하여 단파장 측(300nm~310nm내외), 장파장측 (380nm~400nm내외)의 시작 및 끝의 파장과 그 전후의 곡선이 조금씩 다릅니다.
또 COSθ 특성과 알려진 수광기의 수광각 특성도 이상 곡선에 접근하도록 설계 면에서 노력하고 있지만 좀처럼 실현되지 않는 것이 현실입니다.
사양
수광기 (교환식) V-SD35 (UV-SN35) 입출력 신호
(D-서브커넥터)
입력 (1)원격 스타트 (2)원격 정지
릴레이 접점 출력 (1)N. O. (시작에서 ON) (2)N. C. (3)알람
측정파장 영역 310~385 nm 맞춤정밀도 당사 UV 표준기에 대해서 ±2% 이내
측정광량 범위 0.001~50 mW/cm2 반복정밀도 ±2% 이내
측정조도 범위 입력 (1)원격 스타트 (2)원격 정지
릴레이 접점 출력 (1)N. O. (시작에서 ON) (2)N. C. (3)알람
UV계측기 수광기 분광 감도 특성
UV METER Series
UV-351 Series
자외선 램프의 메이커가 자외선 조도량 /노광량 등을 측정하기 위해 준비한 측정기 시리즈
소형•경량으로, 수광부와 본체가 일체가 된 핸디 타입의 계측기입니다.
UV노광 장치와 UV컨베이어에 모두 대응하는 측정기입니다.
특징
- 노광장치, UV 컨베이어등의 조도와 광량의 관리가 가능합니다.
- 소형, 경량, 박형 핸디 타입입니다.
- 기종은 용도에 맞추어 UV-351(UV-SD35해당), UV-351-25(UV-SD25해당),
   UV-351-42 (UV-SD42해당)에서 를 수 있습니다.
- 광량 측정, 조도 측정, 피크 조도 측정 등 각종 측정 모드를 선택할 수 있습니다.
- 메탈 바디로 열에 강하고 견고한 구조입니다.
SD형과 SN형에 대해서
SN형은 오래 전부터 당사의 노광장치나 조사장치를 사용하시는 고객들이 많이 채용되고 있는 제품으로 프로세스 관리의 계속성을 확보하고 있습니다. SD형은 반도체와 액정용 기판의 제조 프로세스 현장에서 이전에 타사의 조도계를 사용하고 있는 고객이 자신의 계측기와의 데이터 호환성을 중요시하는 경우 (당사의 노광 장치에서도 투영형 노광장치나 액정기판용 주변노광 장치에는 SD형이 채용되었습니다.) 및 새롭게 조도계 등을 사용하려는 고객에게 권장하고 있습니다.
SD형과 SN형의 지시치에 대해서
SN형은 예전부터 프로세스데이터의 호환성을 확보하기위해 SD형의 지시값 (당사 계측 그룹에서 교정용 방사선원으로 사용하는 고압 UV램프의 365nm의 휘선을 동일한 측정 조건에서 측정했을 때 나타나는 조도값 : mW/cm2 표시)에 대해서 39% 높게 표시하도록 조정되어 있습니다.
타사 조도계와의 데이터 호환성에 대해서
가시광용 조도계(가정•사무실•점포•미술관 등의 밝기를 LUX 단위로 재는 조도계)와 달리 자외선용 조도계 모두에게 적용되는 규격은 아직 정해져 있지 않습니다. (극히 일부의 한정된 용도로 JIS화 작업이 이뤄지고 있습니다). 각사의 상대 분광 감도는 365nm의 휘선을 주체로한 광원에 따른 조도를 측정할 목적으로 만들어져 있음에도 측정의 피크 파장 (상대 분광 감도 특성이 1에서 제시된 파장)을 비롯하여 단파장 측(300nm~310nm내외), 장파장측 (380nm~400nm내외) 의 시작 및 끝의 파장과 그 전후의 곡선이 조금씩 다릅니다.
또 COSθ 특성과 알려진 수광기의 수광각 특성도 이상 곡선에 접근 하도록 설계 면에서 노력하고 있지만 좀처럼 실현되지 않는 것이 현실입니다.
사양
측정파장 영역 310~385nm (UV-SD35해당) 맞춤 정밀도 당사 UV표준기에 대해서 ±1.5%이내
측정광량 범위 1~19999 mJ/cm2 반복 정밀도 ±1.5%이내
측정조도 범위 0.1~100.0 mW/cm2
UV계측기 수광기 분광 감도 특성
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