PRODUCT
회사 전체가 목적 의식을 가진 "의지"와 "열기 넘치는 도전적인 기술 집단" 이어야합니다.
  • FDi-Series
  • EDi-Series
  • RDi-Series
  • Mms-Series
  • CAM station FX
DI Series
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
  • FDi-Series
    미세패턴용 다이렉트 노광장치
  • EDi-Series
    UV광원 탑재 전자동 다이렉트 노광장치
  • RDi-Series
    Flexible 회로용 다이렉트 노광장치
  • Mms-Series
    Manual노광 모델 다이렉트 노광장치
  • CAM station FX
    다이렉트 노광 장치 관련 제품
DI Series
FDi-Series
미세패턴용 다이렉트 노광장치
FDi시리즈는, 종래 다이렉트 노광에서는 곤란했던 Ultra Fine Pitch 패턴요구에 대응하기 위해,
업계에서 선구적으르 제풀 실현한 최상위 다이렉트 노광장치입니다.
특별한 얼라이먼트 보정기술
하이엔드 FC-BGA기판, ETS등 차세대 FC-CSP기판, 멀티칩 모듈기판(SiP),
또한 FO-PLP에도 전개가능한 Ultra Fine Pitch의패턴노광을 ORC의 특별한 얼라이먼트 보정기술로 실현
변환기능
노광모드의 변환기능에 의해, 현재의 양산에서, 그리고 수년 앞의 제품개발이나 양산대응이 가능
대응 옵션
롤 반송, 웨이퍼 반송, 수동기의 대응 옵션이 있습니다.
옵션
  • 기판 두께 계측 기능
  • Multi Alignment System
  • D-A-T알고리즘
  • Barcode Marking
  • Numbering
DI Series
EDi-Series
UV광원 탑재 전자동 다이렉트 노광장치
FDi시리즈는, 종래 다이렉트 노광에서는 곤란했던 Ultra Fine Pitch 패턴요구에 대응하기 위해,
업계에서 선구적으르 제풀 실현한 최상위 다이렉트 노광장치입니다.
자동 파장필터변화기능
패키지 기판용 솔더노광의 산업표준인 EDi시리츠에서 한층 더 미세화, 높온 생산성 대응 모델을 라인업.
또한 자동 파장필터변화기능의 탑재가능 (EDi-5308 옵션)
최신 포토비아 대응
최신 포토비아 재료에 대응하고, 레이저 가공에서는 곤란한 미세 비아 형성을 실현.
고정도 얼라이먼트 기능
FO-PLP의 다이렉트 과제 등에 대응하는 종래의 개념을 뛰어넘는 고정도 얼라이먼트 기능을 탑재 (Die by Die Alignment ※옵션)
대형화 대응
대형화하는 HD|기판의 노광에 대응. (EDi-8310)
옵션
  • 내층기판 대응 UV Marker
  • D-A-T 알고리즘
  • Barcode 노광
  • Numbering
  • 기판 두께 계측기능
  • Multi Alignment System
DI Series
RDi-Series
Flexible 회로용 다이렉트 노광장치
[RDi시리즈는, FPC의 롤 반송과 데이터보정 기술을 조합하여
기재의 신축과제를 해결하는 특별한 다이렉트 노광장치입니다.
감광성 커버레이 / 솔더레지스트 대응
회로형성용 RDi-10 Duo는 2 Roll 대응에 의해 생산성을 2배증가 (250mm폭 기재 X2개 동시노광의 경우).
또한, Fine Pitch 회로용 RDi-MP (노광모드 변환기능 탑재)와
감광성 커버레이 / 솔더레지스트에 대응하는 RDi-80 (UV램프 탑재)을 라인업
실증완료
고난도 제품의 [실현화]와 수율개선 등 도입효과는 필드에서 실증완료
Long Pattern 대응
독자의 기술에 의해. 20m 레벨의 Long Pattern에도 대응 (RDi-10Duo추천)
옵션
  • 기판 두께 계측기능
  • Multi Alignment System
  • D-A-T 알고리즘
  • Barcode Marking
  • Numbering
DI Series
Mms-Series
Manual노광 모델 다이렉트 노광장치
표준감재에 대응한 표준장치 : Broad 특성 UV랠프 탑재 모델
다양한 솔더레지스트 대응
Broad 파장에 의해 백색, 흑색 등 다양한 솔더레지스트에 대응
폭넓은 Needs에 대응
소량 다품종에서, 반송기에 의한 양산까지 폭넓은 Needs에 대응
대형사이즈 대응모델
대형사이즈 대응모델 보유
옵션
  • 내층 기판 대응의 UV마커
  • Multi Alignment System
  • Barcode Marking
  • Numbering
  • 기판 두께 계측 기능
DI Series
Mms808C
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
[회로 PTN / SR 겸용] 정밀은 그대로, 다양한 용도로 사용할 수있는 수동 기계 모델입니다.
새로운 UV 광원
세계시장에서 가동 실적 No.1의 EDi시리즈와 동등한 수준의 고정도 및 안정적인 노광 성능은 동일하지만
반송부분이 작업자에 의해 운영되는 매뉴얼 타입입니다.
본체 가격을 낮추어 시제품, 다품종 소량생산•연구 개발용에 사용되는 모델입니다.
전레지시트 대응
PTN과 SR Resist 모두의 파장 특성에 적합한 전용 UV-Lamp를 탑재하고 범용부터 고감도 DFR까지 모든 전자 회로 기판용 레지스트에 대응할 수 있습니다.
복수기판 동시노광
각각 다른 소형 기판을 여러장 스테이지에 배치하여 동시에 노광 할 수 있어 수동기임에도 생산성을 추구할 수있습니다.
D-A-T 알고리즘
기판의 불규칙한 변형에 대응하여 Real Time으로 데이터를 보정하는 자체D-A-T알고리즘을 표준 탑재.
기판마다 변형량이 다른 회로 회로 PTN과 SR 레지스트의 위치 정도를 높여 분할 Alignment를 실행하고 구역별로 보정한 데이터를 일괄 노광 하는 등의 다양한 처리가
가능합니다.
패키지 기판과 같은 고난이도의 위치 정도에도 대응합니다.
옵션
  • 기판 두께 계측 기능
  • Numbering
  • Barcode Marking
  • Multi Alignment System
DI Series
CAM station FX
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
[관련제품 작업 지원] CAM station FX는 무한한 가능성을 지닌 DI 노광 장치용 데이터 편집
System입니다.
기능
- 각 종 데이터 입력
- 데이터 편집
- 데이터 보정
- Panelize
- INFORMATION
- MRC(제조용 규칙 검사)
- MAP(제조용 자동 보정 처리)
- 윤곽 데이터 편집 기능
- 파일/인터넷 조회
- 각 종 데이터 출력
- 드릴 시뮬레이션
- 치수 계측•도면 작성
옵션 패키지
여러 Needs에 대응할 수 있는 추가 기능을 준비하고 있습니다.
※패키지 이외의 오리지널 소프트웨어의 작성도 경우에 따라 대응합니다.
  • 데이터 인터페이스
  • Impedance
  • NC공유 데이터
  • 특수 포맷 입력 (RS-274X/ODB++/DXF/BarcoDPF/MDA/GDSⅡ)
동작환경
Windows Vista / 7 / 8 / 8.1 / 10
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