PRODUCT
회사 전체가 목적 의식을 가진 "의지"와 "열기 넘치는 도전적인 기술 집단" 이어야합니다.
  • FDi-5
  • Extra12
  • Extra12 RR
  • EDi-5208/8208
  • Mms808C
  • CAM station FX
DI Series
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
  • FDi-5
    차세대 회로 PTN용 자동기의 플래그쉽 모델
  • Extra12
    고정도와 세계 최고의 Tact Time을 자랑하는 모델
  • Extra12RR
    Flexible 기판 양산용 Roll to Roll 모델
  • EDi-5208/8208
    최고의 실적이 증명하는 SR용 자동기의 표준 모델
  • Mms808C/608B
    고정도로 다양한 용도에 사용할 수 있는 수동기 모델
  • CAM station FX
    무한한 가능성을 지닌 DI노광 장치용 데이터 편집 System
DI Series
FDi-5
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
[회로 PTN 용]전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준
장비로써, L/S=5μm 에 대응하는 차세대 회로 PTN용 자동기의 플래그쉽 모델
해상도 및 위치정도
5μm 대응의 고해상 • 고정밀 광학계의 개발 및 노광 스테이지의 혁신과 함께 장치 전체의 온도를 관리 제어
함으로써 해상성과 정도의 극한까지 향상하였습니다.
위치 정도 | Ave.|+3σ ≦ 3.5μm은 DI 장비로서는 세계 최고의 성능입니다.
초고속 노광 엔진
ORC독자의 초고속 노광 엔진에 의해 데이터 전송 속도와 처리 속도가 현격히 향상되었습니다.
차세대 패키지 전반의 미세 회로 PTN이 가능하며 시간당80면의 생산성을 실현하였습니다.
박판대응
박형 기판의 Warpage에 대응하는 Auto Focus기능을 표준 탑재하고 있습니다.
운반중 기판의 손상을 경감하는 신형 반송기를 채용하였습니다.
Clean화 대응
장치 전체를 챔버화하여 외부 환경에 따른 장치 내부로의 영향을 최소화 하였으며 반송 공정에서 기판 Lot변경 작업을 자동화하여 사람에 의한 접촉을 줄였습니다.
Particle의 유입을 최소화하여 청정도 향상과 안정화를 실현하고 있습니다.
선폭의 안정성
DI기로서는 최초로 0.25um의 데이터 분해능을 가지고 있어 선폭의 안정성이 향상 하였습니다.
ORC만의 독자적인 Vector 엔진으로 분해능을 높여도 노광 시간에 따른 영향은 없습니다.
옵션
  • 기판 두께 계측 기능
  • Multi Alignment System
  • D-A-T알고리즘
  • Barcode Marking
  • Numbering
DI Series
Extra12
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
[회로 PTN 용]전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준
장비로써,고정도와 세계 최고의 Tact Time을 자랑하는 회로 PTN용 자동기의 더블 스테이지 모델
생산성
고효율 1Path 광학계와 저중심 Double 스테이지 구조를 채용하며 최대 기판 크기 635×535mm에서
6,000매/일 (260매/시간 ※1)의 Tact Time을 실현. 균형있는 생산성과 고해성의 요구에 대응하는 모델입니다.
[※1 노광량 10mJ/c㎡ DFR사용하는 경우]
해상성
L/S=12μm의 고해상성(※2)을 실현. Rough Pitch의 패키지 기판이나 차세대 HDI 기판의 최적 Pitch수준에 대응합니다.
[※2 사용하는 DFR 및 프로세스 조건에 따릅니다.]
위치 정도
고강성 프레임과 고성능스테이지로 위치 정도 ±6μm을 실현.
추가적인 Needs와 목적에 맞춘 Alignment기능을 선택할 수 있고 Any Layer화가 진행되는 HDI기판의 제조에서 최적의 효과를 발휘합니다.
선폭의 치수안정성
데이터 분해능이 0.5μm으로 선폭의 치수 안정성을 향상.
분해능과 함께 시간당 200매를 초과하는 생산성을 양립할 수 있는 것은 ORC뿐입니다
자동 Calibration
각종 보정을 자동으로 실시하며 장치를 안정적으로 가동합니다.
옵션
  • 내층기판 대응 UV Marker
  • D-A-T 알고리즘
  • Barcode 노광
  • Numbering
  • 기판 두께 계측기능
  • Multi Alignment System
DI Series
Extra12 RR
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
[회로 PTN(Flexible 기판) 용]전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의
사실상의 표준 장비로써, Flexible 기판 양산용 Roll to Roll 모델.
(정밀 FPC 및 Touch Panel에 대응)
Roll to Roll
250mm 에서 500mm 폭까지의 Roll to Roll에 대응.
오랜 기간 축적된 DI 의 노하우를 결집하여 1Path 및 Maskless 를 실현.
마스크로 인한 불량 및 관리가 불필요하며 생산성과 제품 수율이 크게 향상됩니다.
해상성
L/S=12μm의 고해상성을 실현. 차세대 FPC 기판의 고정도화에 대응합니다.
(사용하는 DFR 이나 프로세스 조건에 따라 차이가 있습니다.)
자동 Calibration
각종 보정을 자동으로 실시하며 장치를 안정적으로 가동합니다.
위치 정도
고강성 프레임과 고성능 스테이지로 위치정도 ±6μm 을 실현.
추가적인 Needs나 목적에 맞춘 Alignment 기능을 선택할 수 있으며 고수준의 정도가 요구되는 FPCB나 Touch Screen기판의 제조에서 최적의 성능을 발휘합니다.
Roll to Roll용 옵션
  • ong FPCB 대응
  • Sheet 기판을 연결한 Roll에도 대응
  • Alignment Mark가 없는 기판에 대응하는 Edge Alignment
  • 3인치/ 6인치 보빙전환
옵션
  • 기판 두께 계측기능
  • Multi Alignment System
  • D-A-T 알고리즘
  • Barcode Marking
  • Numbering
DI Series
EDi-5208/8208
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
[SR 용]시장 점유율 및 가동 실적 최고의 제품으로 SR용 자동기의 표준 모델입니다.
새로운 UV 광원
본 장치를 위해 개발된 고조도 UV-Lamp와 광학계의 상호 작용으로 소비전력 이전 대비 -75%라는
UV-LED를 상회하는 친환경 성능과 생산성 향상을 이루었습니다.
다양한 감재에 대응하는 차세대 UV 광원입니다.
해상성
양면 노광 모델 과 단면 노광 모델이 준비되어 있습니다. 용도에 맞게 선택 하십시오.
자동 Calibration
각종 보정을 자동으로 실시하며 장치를 안정적으로 가동합니다.
D-A-T 알고리즘
기판의 불규칙한 변형에 대응하여 Real Time으로 데이터를 보정하는 자체D-A-T알고리즘을 표준 탑재.
기판마다 변형량이 다른 회로 회로 PTN과 SR 레지스트의 위치 정도를 높여 분할 Alignment를 실행하고 구역별로 보정한 데이터를 일괄 노광 하는 등의
다양한 처리가 가능합니다.
패키지 기판과 같은 고난이도의 위치 정도에도 대응합니다.
옵션
  • 내층 기판 대응의 UV마커
  • Multi Alignment System
  • Barcode Marking
  • Numbering
  • 기판 두께 계측 기능
DI Series
Mms808C
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
[회로 PTN / SR 겸용] 정밀은 그대로, 다양한 용도로 사용할 수있는 수동 기계 모델입니다.
새로운 UV 광원
세계시장에서 가동 실적 No.1의 EDi시리즈와 동등한 수준의 고정도 및 안정적인 노광 성능은 동일하지만
반송부분이 작업자에 의해 운영되는 매뉴얼 타입입니다.
본체 가격을 낮추어 시제품, 다품종 소량생산•연구 개발용에 사용되는 모델입니다.
전레지시트 대응
PTN과 SR Resist 모두의 파장 특성에 적합한 전용 UV-Lamp를 탑재하고 범용부터 고감도 DFR까지 모든 전자 회로 기판용 레지스트에 대응할 수 있습니다.
복수기판 동시노광
각각 다른 소형 기판을 여러장 스테이지에 배치하여 동시에 노광 할 수 있어 수동기임에도 생산성을 추구할 수있습니다.
D-A-T 알고리즘
기판의 불규칙한 변형에 대응하여 Real Time으로 데이터를 보정하는 자체D-A-T알고리즘을 표준 탑재.
기판마다 변형량이 다른 회로 회로 PTN과 SR 레지스트의 위치 정도를 높여 분할 Alignment를 실행하고 구역별로 보정한 데이터를 일괄 노광 하는 등의 다양한 처리가
가능합니다.
패키지 기판과 같은 고난이도의 위치 정도에도 대응합니다.
옵션
  • 기판 두께 계측 기능
  • Numbering
  • Barcode Marking
  • Multi Alignment System
DI Series
CAM station FX
전자 회로 기판의 모든 리소그래피 공정을 커버하는 DI 노광기의 사실상의 표준 장비
[관련제품 작업 지원] CAM station FX는 무한한 가능성을 지닌 DI 노광 장치용 데이터 편집
System입니다.
기능
- 각 종 데이터 입력
- 데이터 편집
- 데이터 보정
- Panelize
- INFORMATION
- MRC(제조용 규칙 검사)
- MAP(제조용 자동 보정 처리)
- 윤곽 데이터 편집 기능
- 파일/인터넷 조회
- 각 종 데이터 출력
- 드릴 시뮬레이션
- 치수 계측•도면 작성
옵션 패키지
여러 Needs에 대응할 수 있는 추가 기능을 준비하고 있습니다.
※패키지 이외의 오리지널 소프트웨어의 작성도 경우에 따라 대응합니다.
  • 데이터 인터페이스
  • Impedance
  • NC공유 데이터
  • 특수 포맷 입력 (RS-274X/ODB++/DXF/BarcoDPF/MDA/GDSⅡ)
동작환경
Windows Vista / 7 / 8 / 8.1 / 10
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